超短脈沖激光微加工指的是利用脈沖寬度在皮秒致飛秒量級的脈沖激光對材料的顯微加工、精密裁切或微觀改性。從材料性能變化來說，可分為表面形貌。折射率、離子價態(tài)、相態(tài)、缺陷態(tài)、晶態(tài)、化學(xué)鍵以及能帶結(jié)構(gòu)等的修飾與調(diào)控。

 

超短脈沖應(yīng)用加工領(lǐng)域有：印刷電路、LED、醫(yī)療器械、太陽能電池、液晶顯示基板、微光機電系統(tǒng)等 

1、加工尺寸更小；

2、可實現(xiàn)高精度的非熱熔型加工；

3、能克服等離子體屏蔽作用和摻雜、缺陷對激光吸收影響；

4、加工過程只與被加工材料院子特征有關(guān)，不受特性影響

相對于傳統(tǒng)的激光打標、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細加工還屬于新興市場。未來十年內(nèi)超短脈沖激光技術(shù)在全球?qū)?/span>250億美元的市場，平均每年有超25億元的市場。隨著超短脈沖激光器件趨向更加成熟的工業(yè)應(yīng)用，超短脈沖激光微納加工技術(shù)將開拓更為廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域，成為諸多行業(yè)不可或缺的利器，為科技造福社會創(chuàng)造更為美好的明天。